[ÅåÅå´º½º] ±¹¸³¸ñÆ÷´ëÇб³(ÃÑÀå ¼ÛÇÏö) ÈÇÕ¹°¹ÝµµÃ¼¼¾ÅÍ(CSRC)°¡ ±¹³» ÈÇÕ¹°¹ÝµµÃ¼ Àü¹®±â¾÷ÀÎ ¿þÀ̺ñ½º(´ëÇ¥ÀÌ»ç Çѹμ®)¿Í Çù·ÂÇÏ¿© ´ëÇѹα¹ ¼ø¼ö±â¼ú·Î GaN(ÁúÈ°¥·ý) ±â¹Ý ´ÙÁß ÇÁ·ÎÁ§Æ® ¿þÀÌÆÛ(MPW) ¼ºñ½º¸¦ ½ÃÀÛÇÑ´Ù°í ¹àÇû´Ù. À̹ø Çù¾àÀº ±¹³» ¿¬±¸±â°ü°ú ´ëÇеéÀÌ ¼¼°èÀûÀÎ ¹ÝµµÃ¼ ¿¬±¸ °æÀï¿¡¼ µµ¾àÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±âȸ¸¦ Á¦°øÇϸç, Åë½Å¡¤±¹¹æ¡¤ÀÚµ¿Â÷¡¤Ç×°ø¿ìÁÖ »ê¾÷ÀÇ ¹ßÀüÀ» °ßÀÏÇÒ Áß¿äÇÑ ÀüȯÁ¡À¸·Î Æò°¡¹Þ°í ÀÖ´Ù.
¿þÀ̺ñ½º´Â À̹ø Çù¾àÀ» ÅëÇØ ±¹³» ÃÖÃÊ·Î ÈÇÕ¹°¹ÝµµÃ¼¼¾Å͸¦ ÅëÇØ GaN MPW ¼ºñ½º¸¦ Á¦°øÇÔÀ¸·Î½á, ¹ÝµµÃ¼ ¿¬±¸ÀÚµéÀÌ ÇØ¿Ü ÀÇÁ¸ ¾øÀÌ µ¶ÀÚÀûÀÎ ¼³°è ¹× Á¦ÀÛÀ» ÁøÇàÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï Áö¿øÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. ±âÁ¸ÀÇ IDEC¸¦ ÅëÇÑ MPW ¼ºñ½º´Â ½Ç¸®ÄÜ(Si) ±â¹Ý¿¡ ÁýÁßµÈ ¹Ý¸é, ¿þÀ̺ñ½º´Â °íÃâ·Â¡¤°íÈ¿À² Ư¼ºÀ» Áö´Ñ GaN ¹ÝµµÃ¼ ±â¼úÀ» MPW ÇüÅ·ΠÁ¦°ø, ¿¬±¸ÀÚµéÀÌ ÃÖ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ ¼³°è¸¦ ÀÚÀ¯·Ó°Ô °ËÁõÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±â¹ÝÀ» ¸¶·ÃÇÑ´Ù.
GaN ±â¹Ý ÈÇÕ¹°¹ÝµµÃ¼´Â ±âÁ¸ ½Ç¸®ÄÜ ¹ÝµµÃ¼ ´ëºñ Àü·Â È¿À²¼ºÀÌ 40% ÀÌ»ó ³ô°í, °íÃâ·Â․³»±¸¼ºÀÌ ¶Ù¾î³ª´Ù´Â ÀåÁ¡ÀÌ ÀÖ´Ù. ÀÌ´Â ±¹¹æ ·¹ÀÌ´õÀÇ °¨Áö ´É·Â Çâ»ó, Àü±âÂ÷ ÃæÀü ¼Óµµ ¹× ¹èÅ͸® È¿À² °³¼±, À§¼º ¹× Ç×°ø¿ìÁÖ Åë½Å ¾ÈÁ¤¼º È®º¸ µî ´Ù¾çÇÑ Àü·« »ê¾÷ ºÐ¾ß¿¡¼ Çõ½ÅÀûÀÎ º¯È¸¦ À̲ø ÇÙ½É ±â¼ú·Î ÁÖ¸ñ¹Þ°í ÀÖ´Ù.
±×µ¿¾È ±¹³» ´ëÇаú ¿¬±¸±â°üÀº ÈÇÕ¹°¹ÝµµÃ¼ ±â¹ÝÀÇ ¼³°è±â¼úÀ» º¸À¯ÇÏ°íµµ ¼ö¾ï ¿ø´ëÀÇ Á¦ÀÛ ºñ¿ëÀ¸·Î ÀÎÇØ ¿¬±¸°³¹ß¿¡ Å« ¾î·Á¿òÀ» °Þ¾î¿Ô´Ù. À̹ø Çù¾àÀ» ÅëÇØ GaN MPW ¼ºñ½º°¡ Á¦°øµÇ¸é, ¿¬±¸ ºñ¿ë ºÎ´ãÀÌ Å©°Ô ÁÙ¾îµé¾î ±¹³» ÈÇÕ¹°¹ÝµµÃ¼ ¹× ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ »ê¾÷ À°¼º¿¡ Å« ±â¿©¸¦ ÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù.
¡°À̹ø Çù¾àÀº ´Ü¼øÇÑ ±â¼ú Áö¿øÀ» ³Ñ¾î, ´ëÇѹα¹ÀÇ ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ ¿¬±¸ ¿ª·®À» ¼¼°èÀû ¼öÁØÀ¸·Î µµ¾à½ÃÅ°´Â Áß¿äÇÑ °è±â°¡ µÉ °Í¡±À̶ó¸ç, ¡°¿þÀ̺ñ½º¿ÍÀÇ Çù·ÂÀ» ÅëÇØ MPW ¼ºñ½º°¡ ±¹³» ¿¬±¸Àڵ鿡°Ô ½ÇÁúÀûÀÎ µµ¿òÀÌ µÇ°í, À̸¦ ÅëÇØ ±¹°¡ °æÀï·Â °È·Î À̾îÁö±æ ±â´ëÇÑ´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù.
¿þÀ̺ñ½º´Â À̹ø Çù¾àÀ» °è±â·Î Àü¶ó³²µµ¿¡ Áö»ç ¼³¸³À» ÃßÁø, Áö¿ª ±â¹ÝÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ¿¬±¸ ÀÎÇÁ¶ó¸¦ °ÈÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. À̸¦ ÅëÇØ Àü³² Áö¿ªÀÌ ´ëÇѹα¹ ¹ÝµµÃ¼ ¿¬±¸ÀÇ ÇÙ½É Çãºê·Î ¼ºÀåÇÏ°í, Áö¿ª ÀÎÀçµéÀÌ ÃÖ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ ¿¬±¸¿Í ½Ç¹« °æÇèÀ» ½×À» ¼ö ÀÖµµ·Ï Áö¿øÇÒ ¹æħÀÌ´Ù.
Çѹμ® ¿þÀ̺ñ½º ´ëÇ¥´Â ¡°À̹ø MPW ¼ºñ½º´Â Áö¿ª°ú ±¹°¡ÀÇ µ¿¹Ý ¼ºÀåÀ» À§ÇÑ Àü·«Àû °áÁ¤¡±À̶ó¸ç, ¡°±¹³» ¿¬±¸±â°ü°ú ´ëÇÐÀÌ ÇØ¿Ü¿¡ ÀÇÁ¸ÇÏÁö ¾Ê°í µ¶ÀÚÀûÀ¸·Î ÃÖ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ ±â¼úÀ» °³¹ßÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±â¹ÝÀ» ¸¶·ÃÇß´Ù´Â Á¡¿¡¼ Å« Àǹ̰¡ ÀÖ´Ù¡±°í °Á¶Çß´Ù. ¶ÇÇÑ, ¡°¿þÀ̺ñ½º´Â ¾ÕÀ¸·Îµµ ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ ¹Ì·¡¸¦ Ã¥ÀÓÁö´Â Çõ½ÅÀûÀÎ ÆÄÆ®³Ê·Î¼ÀÇ ¿ªÇÒÀ» ´ÙÇÒ °Í¡±À̶ó°í µ¡ºÙ¿´´Ù.
À̹ø ±¹¸³¸ñÆ÷´ë ÈÇÕ¹°¹ÝµµÃ¼¼¾ÅÍ¿Í ¿þÀ̺ñ½ºÀÇ Çù·ÂÀº ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ ¿¬±¸ »ýÅ°迡 °·ÂÇÑ Áö¿øÃ¥ÀÌ µÉ »Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó, ´ëÇѹα¹À» ±Û·Î¹ú ¹ÝµµÃ¼ °±¹À¸·Î µµ¾à½ÃÅ°´Â °áÁ¤Àû °è±â°¡ µÉ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù.