[톡톡뉴스] 조선대 광기술공학과 석·박사과정생들이 차세대 리소그래피 학술대회에서 우수논문상 등을 잇따라 수상해 눈길을 끈다.

조선대학교(총장 민영돈)에 따르면 최근 한국광학회와 EUV-IUCC(극자외선 노광기술 국가연구협의체)가 공동주관하고 네덜란드 반도체 제조장비 업체인 ASML이 후원하는 ‘2023 차세대 리소그래피 학술대회’에서 조선대 광기술공학과 박효미 박사과정생(지도교수 주기남)은 우수논문상을, 김용원 석사과정생(지도교수 권민기)과 서선일 학부생(지도교수 주기남)은 혁신논문상을 수상했다.

지난 21일부터 이틀간 수원컨벤션센터에서 진행된 학술대회는 반도체 및 디스플레이 리소그래피 분야와 검사 계측(Metrology and Inspection, MI) 분야에 대한 성과와 연구결과를 나누는 시간으로 진행됐다.

박효미 학생의 논문 제목은 ‘리소그래피를 위한 실시간 파면 측정 센서’로 파면 측정을 위해 기하 위상 렌즈를 이용한 방사 밀림 간섭계 연구에 대해 다루고 있다. 박효미 학생이 발표한 연구는 차세대 리소그래피 분야에서 제품의 성능을 개선시키기 위한 핵심연구로 참가자들의 많은 관심을 받았다.

김용원 학생의 논문 제목은 ‘p-n 이종접합 Si/MoS2 광센서’로 이번 논문을 통해 p형 실리콘 기판과 n형 이황화몰리브덴 (MoS2)을 이종결합한 광센서의 반응성 향상 연구에 대해 다루고 있다. 김용원 학생은 “처음 참석한 차세대 리소그래피 학회에서 상을 받게 될 줄 몰랐다”며 “상을 주신 학회 관계자 분들과 연구 지도를 해주신 권민기 교수님께 감사하다는 말씀을 드리고 싶다”고 소감을 밝혔다.

서선일 학생의 논문은 ‘존스행렬을 이용한 분광 타원계측기 광학계 보정’으로 광학계에서 사용하는 광학 부품들의 회전각을 존스행렬로 정확하게 보정하는 방법에 대해 다루고 있다. 서선일 학생은 “차세대 리소그래피 학회의 참여 및 연구 발표를 위해 도와주신 주기남 교수님께 감사하다”고 전했다.

한편 조선대학교 광기술공학과는 광학을 기반으로 전기, 전자, 정밀기계, 신소재 기술, 인공지능이 융복합된 첨단공학 분야의 학과로 반도체, 디스플레이, 초고속 광통신, 레이저응용, 광의료, 국방기술, 신재생에너지, 바이오 등 고부가가치를 창출할 수 있는 4차산업의 핵심 기술을 교육하고 있다.