[ÅåÅå´º½º] Á¶¼±´ë ±¤±â¼ú°øÇаú ¼®¡¤¹Ú»ç°úÁ¤»ýµéÀÌ Â÷¼¼´ë ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ Çмú´ëȸ¿¡¼ ¿ì¼ö³í¹®»ó µîÀ» ÀÕµû¶ó ¼ö»óÇØ ´«±æÀ» ²ö´Ù.
Á¶¼±´ëÇб³(ÃÑÀå ¹Î¿µµ·)¿¡ µû¸£¸é ÃÖ±Ù Çѱ¹±¤ÇÐȸ¿Í EUV-IUCC(±ØÀڿܼ± ³ë±¤±â¼ú ±¹°¡¿¬±¸ÇùÀÇü)°¡ °øµ¿ÁÖ°üÇÏ°í ³×´ú¶õµå ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶Àåºñ ¾÷üÀÎ ASMLÀÌ ÈÄ¿øÇÏ´Â ¡®2023 Â÷¼¼´ë ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ Çмú´ëȸ¡¯¿¡¼ Á¶¼±´ë ±¤±â¼ú°øÇаú ¹ÚÈ¿¹Ì ¹Ú»ç°úÁ¤»ý(Áöµµ±³¼ö ÁֱⳲ)Àº ¿ì¼ö³í¹®»óÀ», ±è¿ë¿ø ¼®»ç°úÁ¤»ý(Áöµµ±³¼ö ±Ç¹Î±â)°ú ¼¼±ÀÏ Çкλý(Áöµµ±³¼ö ÁֱⳲ)Àº Çõ½Å³í¹®»óÀ» ¼ö»óÇß´Ù.
Áö³ 21ÀϺÎÅÍ ÀÌƲ°£ ¼ö¿øÄÁº¥¼Ç¼¾ÅÍ¿¡¼ ÁøÇàµÈ Çмú´ëȸ´Â ¹ÝµµÃ¼ ¹× µð½ºÇ÷¹ÀÌ ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ºÐ¾ß¿Í °Ë»ç °èÃø(Metrology and Inspection, MI) ºÐ¾ß¿¡ ´ëÇÑ ¼º°ú¿Í ¿¬±¸°á°ú¸¦ ³ª´©´Â ½Ã°£À¸·Î ÁøÇàµÆ´Ù.
¹ÚÈ¿¹Ì ÇлýÀÇ ³í¹® Á¦¸ñÀº ¡®¸®¼Ò±×·¡ÇǸ¦ À§ÇÑ ½Ç½Ã°£ Æĸé ÃøÁ¤ ¼¾¼¡¯·Î Æĸé ÃøÁ¤À» À§ÇØ ±âÇÏ À§»ó ·»Á ÀÌ¿ëÇÑ ¹æ»ç ¹Ð¸² °£¼·°è ¿¬±¸¿¡ ´ëÇØ ´Ù·ç°í ÀÖ´Ù. ¹ÚÈ¿¹Ì ÇлýÀÌ ¹ßÇ¥ÇÑ ¿¬±¸´Â Â÷¼¼´ë ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ºÐ¾ß¿¡¼ Á¦Ç°ÀÇ ¼º´ÉÀ» °³¼±½ÃÅ°±â À§ÇÑ Çٽɿ¬±¸·Î Âü°¡ÀÚµéÀÇ ¸¹Àº °ü½ÉÀ» ¹Þ¾Ò´Ù.
±è¿ë¿ø ÇлýÀÇ ³í¹® Á¦¸ñÀº ¡®p-n ÀÌÁ¾Á¢ÇÕ Si/MoS2 ±¤¼¾¼¡¯·Î À̹ø ³í¹®À» ÅëÇØ pÇü ½Ç¸®ÄÜ ±âÆÇ°ú nÇü ÀÌȲȸô¸®ºêµ§ (MoS2)À» ÀÌÁ¾°áÇÕÇÑ ±¤¼¾¼ÀÇ ¹ÝÀÀ¼º Çâ»ó ¿¬±¸¿¡ ´ëÇØ ´Ù·ç°í ÀÖ´Ù. ±è¿ë¿ø ÇлýÀº ¡°Ã³À½ Âü¼®ÇÑ Â÷¼¼´ë ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ÇÐȸ¿¡¼ »óÀ» ¹Þ°Ô µÉ ÁÙ ¸ô¶ú´Ù¡±¸ç ¡°»óÀ» ÁֽŠÇÐȸ °ü°èÀÚ ºÐµé°ú ¿¬±¸ Áöµµ¸¦ ÇØÁֽŠ±Ç¹Î±â ±³¼ö´Ô²² °¨»çÇÏ´Ù´Â ¸»¾¸À» µå¸®°í ½Í´Ù¡±°í ¼Ò°¨À» ¹àÇû´Ù.
¼¼±ÀÏ ÇлýÀÇ ³í¹®Àº ¡®Á¸½ºÇà·ÄÀ» ÀÌ¿ëÇÑ ºÐ±¤ Ÿ¿ø°èÃø±â ±¤ÇÐ°è º¸Á¤¡¯À¸·Î ±¤Çа迡¼ »ç¿ëÇÏ´Â ±¤ÇÐ ºÎÇ°µéÀÇ È¸Àü°¢À» Á¸½ºÇà·Ä·Î Á¤È®ÇÏ°Ô º¸Á¤ÇÏ´Â ¹æ¹ý¿¡ ´ëÇØ ´Ù·ç°í ÀÖ´Ù. ¼¼±ÀÏ ÇлýÀº ¡°Â÷¼¼´ë ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ÇÐȸÀÇ Âü¿© ¹× ¿¬±¸ ¹ßÇ¥¸¦ À§ÇØ µµ¿ÍÁֽŠÁֱⳲ ±³¼ö´Ô²² °¨»çÇÏ´Ù¡±°í ÀüÇß´Ù.
ÇÑÆí Á¶¼±´ëÇб³ ±¤±â¼ú°øÇаú´Â ±¤ÇÐÀ» ±â¹ÝÀ¸·Î Àü±â, ÀüÀÚ, Á¤¹Ð±â°è, ½Å¼ÒÀç ±â¼ú, ÀΰøÁö´ÉÀÌ À¶º¹ÇÕµÈ Ã·´Ü°øÇÐ ºÐ¾ßÀÇ Çаú·Î ¹ÝµµÃ¼, µð½ºÇ÷¹ÀÌ, ÃÊ°í¼Ó ±¤Åë½Å, ·¹ÀÌÀúÀÀ¿ë, ±¤ÀÇ·á, ±¹¹æ±â¼ú, ½ÅÀç»ý¿¡³ÊÁö, ¹ÙÀÌ¿À µî °íºÎ°¡°¡Ä¡¸¦ âÃâÇÒ ¼ö ÀÖ´Â 4Â÷»ê¾÷ÀÇ ÇÙ½É ±â¼úÀ» ±³À°ÇÏ°í ÀÖ´Ù.